Методика расчета одноосевого микро-опто-электро-механического преобразователя угловых скоростей
Аннотация
Предложена методика расчета одноосевого микро-опто-электро-механического (МОЭМ) преобразователя угловых скоростей, построенного на основе оптического туннельного эффекта (ОТЭ). Разработан алгоритм и программное обеспечение, позволяющие производить расчет основных параметров МОЭМ-преобразователя при обеспечении заданных технических требований.
Опубликован
2018-05-23
Выпуск
Раздел
Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы